根据国内外氟化工行业多年实践经验，只要焚烧反应温度控制在一定范围，有机氟、氯烃就可以有效的热裂解，分解率可达99.9%以上。另外经研究证明，只要热解温度达一定点以上，且保证氟或氯、氢平衡所需的H离子，则有机氟、氯烃的分解率可以达到99.9%以上，而且焚烧尾气中CF4含量远小于0.5%，焚烧过程不产生八氟异丁烯等剧毒物质。行业界已认可高温焚烧是处理含氟含氯废液或废气的可行，可靠的方法。后续通过冷却、吸收和洗涤等工艺过程使尾气排放符合环保要求，并可回收一定浓度的副产品，同时把焚烧过程中产生的热量回收，产生饱和蒸汽以供工厂利用。

　　主要由3个单元组成：

　　(1)含氟含氯废液、废气的焚烧和余热回收系统；

　　(2)烟气的净化吸收系统；

　　(3)副产品的回收系统；